一般情况下，快速退火炉都是以碘钨灯管为其发热元件的，升温速度非常的快，采用的是S型的热电偶测温，并且使用领先的模糊PID进行控制，其控温精度非常的高。快速退火炉具有真空装置，可以在多种气氛下进行工作，这样就大大提高了快速退火炉的使用范围。
对于快速退火炉来说，热源的选择是非常重要的，它关系到被处理工件的质量问题，那么，快速退火炉热源有哪些呢？目前，在使用的热源主要有两种：一种是灯光加热，一种是高频感应加热。
1、灯光加热
这样的加热方式是由上下两个专用的灯管组或者是单面灯泡构成加热源，加热灯形状以及数目因厂家和被处理的工件尺寸而定，硅片位于双面加热灯中间或者是单面灯的下方进行快速加热。因为这样的装置是线状或者是点状光源构成的面光源，为了达到均匀的加热效果，对每个灯管的一致性要求很高。从理论上来说，灯的数目越多，其传感器数目、驱动电路以及控制系统的规模也会相应增加，而由此带来的则是制作成本的增加，但是因为较小的腔体体积，可以达到清洁的气氛，减少玷污，同时也可以减少热预算。
2、高频感应加热
在石英腔体外缠绕线圈，在石英腔体里面放置平行的石墨加热板。当向线圈里面通入高频电压的时候，在线圈的周边就会产品高频的电磁场，而位于高频交变电磁场里面的石墨板受到感应后发热就会成为热源，由此对腔体里面的硅片进行热处理退火。总的来说，这种方式虽然制作以及维护成本比较低，但是因为石墨板在感应时候的热迟滞性，以及停止加热时候的热惯性，会让温度控制响应速度变慢，温度控制精度在技术上面很难得到保证，并且高频电磁辐射如果控制不当的话，会很容易对周围的环境造成电磁污染。
