真空退火炉，真空回火炉，真空淬火炉，他们都叫真空热处理炉。真空退火的工艺跟真空回火的工艺是可以在同一台真空炉上做到的。真空退火炉和真空回火炉通常称作真空箱式炉或真空箱式气氛炉。
真空淬火工艺须要到专用的真空淬火炉上去做。标准的真空箱式炉具有密封性能好，可以做到真空或充入惰性气体，在炉内退火、回火的材料不会氧化。真空箱式炉也可以做普通的淬火，但与普通淬火炉一样会正常的氧化。如果要做到淬火不会氧化，那么要用到真空淬火炉。
真空回火炉水冷系统：真空炉炉体、炉门、真空机组、水冷电极等需要冷却水。该系统由主供水管分配到各冷却部位，流回到封闭式回水管。其中各分进水管上安装有不锈钢球阀、立式热水表等。在主进水管路上安装有电接点压力表和热电偶，可直接观察到进水管的压力和温度，并且能实现超温、水压过低报警，实现自动保护功能。
