退火炉加热室采用不锈钢骨架，隔热屏为多层石墨毡，使用寿命长，易维护。采用石墨管加热器，易安装维护，故障率低。气冷系统有大功率高速电机、大风量高压叶轮、蜗壳及导流板、铜管铜串片换热器和导流装置等组成，可实现气流有换热器-风机-导流装置-工件-换热器的高速循环，以使工件得到快速均匀的冷却。加热室也可以采用全金属结构。电控系统采用PLC与可编程温度控制器的方式，实现全自动、半自动、手动三种控制方式，操作灵活。
真空退火炉快充系统由大通径气动充气阀完成对真空炉的快速充气。快速冷却时，先充气至0.6bar后起动气冷风机，当风机正常运转后再充至设定压力。气冷压力在0.6--2bar可调。
真空退火炉微充系统由手动截止阀、电磁阀、微调阀等组成。加热过程可用此系统对炉内真空度进行调节和控制，防止因炉内真空度过高而造成某些金属元素的挥发。
